4-инчов SiC субстрат N-тип

Кратко описание:

Semicera предлага широка гама от 4H-8H SiC пластини. В продължение на много години ние сме производител и доставчик на продукти за полупроводниковата и фотоволтаичната промишленост. Нашите основни продукти включват: силициево-карбидни гравиращи плочи, силициево-карбидни ремаркета за лодки, силициево-карбидни вафли (PV и полупроводници), силициево-карбидни пещни тръби, силициево-карбидни конзолни лопатки, силициево-карбидни патронници, силициево-карбидни греди, както и CVD SiC покрития и TaC покрития. Покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете имейл до нас

Подробности за продукта

Продуктови етикети

Монокристален материал от силициев карбид (SiC) има голяма ширина на забранената лента (~Si 3 пъти), висока топлопроводимост (~Si 3,3 пъти или GaAs 10 пъти), висока скорост на миграция на насищане с електрони (~Si 2,5 пъти), висока електрическа пробив поле (~Si 10 пъти или GaAs 5 пъти) и други изключителни характеристики.

Semicera energy може да предостави на клиентите висококачествен проводящ (проводим), полуизолиращ (полуизолиращ), HPSI (полуизолиращ с висока чистота) субстрат от силициев карбид; В допълнение, ние можем да предоставим на клиентите хомогенни и хетерогенни епитаксиални листове от силициев карбид; Можем също така да персонализираме епитаксиалния лист според специфичните нужди на клиентите и няма минимално количество за поръчка.

Предмети	производство	Проучване	манекен
Кристални параметри
Политип	4H
Грешка в ориентацията на повърхността	<11-20 >4±0,15°
Електрически параметри
Допант	n-тип азот
Съпротивление	0,015-0,025 ом·см
Механични параметри
Диаметър	99,5 - 100 мм
Дебелина	350±25 μm
Основна плоска ориентация	[1-100]±5°
Първична плоска дължина	32,5±1,5 мм
Вторично плоско положение	90° CW от първична плоскост ±5°. силикон с лицето нагоре
Вторична плоска дължина	18±1,5 мм
TTV	≤5 μm	≤10 μm	≤20 μm
LTV	≤2 μm (5mm*5mm)	≤5 μm (5mm*5mm)	NA
Поклон	-15μm ~ 15μm	-35μm ~ 35μm	-45μm ~ 45μm
Деформация	≤20 μm	≤45 μm	≤50 μm
Предна (Si-лице) грапавост (AFM)	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Структура
Плътност на микротръбата	≤1 ea/cm2	≤5 ea/cm2	≤10 ea/cm2
Метални примеси	≤5E10atoms/cm2		NA
BPD	≤1500 ea/cm2	≤3000 ea/cm2	NA
TSD	≤500 ea/cm2	≤1000 ea/cm2	NA
Предно качество
Преден	Si
Повърхностно покритие	Si-face CMP
частици	≤60ea/вафла (размер≥0.3μm)	NA
Драскотини	≤2ea/mm. Кумулативна дължина ≤Диаметър	Кумулативна дължина≤2*диаметър	NA
Портокалова кора/ямки/петна/ивици/пукнатини/замърсяване	Няма		NA
Крайни чипове/вдлъбнатини/счупени/шестограмни плочи	Няма		NA
Политипни области	Няма	Кумулативна площ≤20%	Кумулативна площ≤30%
Предна лазерна маркировка	Няма
Качество на гърба
Обратно покритие	C-лице CMP
Драскотини	≤5ea/mm, Кумулативна дължина≤2*Диаметър	NA
Дефекти на гърба (стружки/вдлъбнатини по ръбовете)	Няма
Грапавост на гърба	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Лазерно маркиране на гърба	1 mm (от горния ръб)
Ръб
Ръб	фаска
Опаковка
Опаковка	Вътрешната торба се пълни с азот, а външната се вакуумира. Касета с множество вафли, епи-готова.
*Бележки: „NA“ означава, че няма заявка. Неспоменатите елементи може да се отнасят за SEMI-STD.