6-инчов N-тип SiC субстрат

Кратко описание:

Semicera предлага широка гама от 4H-8H SiC пластини. В продължение на много години ние сме производител и доставчик на продукти за полупроводниковата и фотоволтаичната промишленост. Нашите основни продукти включват: силициево-карбидни гравиращи плочи, силициево-карбидни ремаркета за лодки, силициево-карбидни вафли (PV и полупроводници), силициево-карбидни пещни тръби, силициево-карбидни конзолни лопатки, силициево-карбидни патронници, силициево-карбидни греди, както и CVD SiC покрития и TaC покрития. Покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да бъдем ваш дългосрочен партньор в Китай.

 

Подробности за продукта

Продуктови етикети

Монокристален материал от силициев карбид (SiC) има голяма ширина на забранената лента (~Si 3 пъти), висока топлопроводимост (~Si 3,3 пъти или GaAs 10 пъти), висока скорост на миграция на насищане с електрони (~Si 2,5 пъти), висока електрическа пробив поле (~Si 10 пъти или GaAs 5 пъти) и други изключителни характеристики.

Полупроводниковите материали от трето поколение включват главно SiC, GaN, диамант и др., тъй като неговата ширина на забранената лента (Eg) е по-голяма или равна на 2,3 електронволта (eV), известни също като полупроводникови материали с широка забранена лента. В сравнение с полупроводниковите материали от първо и второ поколение, полупроводниковите материали от трето поколение имат предимствата на висока топлопроводимост, силно пробивно електрическо поле, висока скорост на наситена миграция на електрони и висока енергия на свързване, което може да отговори на новите изисквания на съвременната електронна технология за високи температура, висока мощност, високо налягане, висока честота и устойчивост на радиация и други тежки условия. Той има важни перспективи за приложение в областта на националната отбрана, авиацията, космонавтиката, петролните проучвания, оптичното съхранение и др. и може да намали загубите на енергия с повече от 50% в много стратегически отрасли като широколентови комуникации, слънчева енергия, производство на автомобили, полупроводниково осветление и интелигентна мрежа и може да намали обема на оборудването с повече от 75%, което е крайъгълен камък за развитието на човешката наука и технологии.

Semicera energy може да предостави на клиентите висококачествен проводящ (проводим), полуизолиращ (полуизолиращ), HPSI (полуизолиращ с висока чистота) субстрат от силициев карбид; В допълнение, ние можем да предоставим на клиентите хомогенни и хетерогенни епитаксиални листове от силициев карбид; Можем също така да персонализираме епитаксиалния лист според специфичните нужди на клиентите и няма минимално количество за поръчка.

Предмети

производство

Проучване

манекен

Кристални параметри

Политип

4H

Грешка в ориентацията на повърхността

<11-20 >4±0,15°

Електрически параметри

Допант

n-тип азот

Съпротивление

0,015-0,025 ом·см

Механични параметри

Диаметър

150,0±0,2 мм

Дебелина

350±25 μm

Основна плоска ориентация

[1-100]±5°

Основна плоска дължина

47,5±1,5 мм

Второстепенен апартамент

Няма

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Поклон

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Деформация

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Предна (Si-лице) грапавост (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Структура

Плътност на микротръбата

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Метални примеси

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Предно качество

Преден

Si

Повърхностно покритие

Si-face CMP

частици

≤60ea/вафла (размер≥0.3μm)

NA

Драскотини

≤5ea/mm. Кумулативна дължина ≤Диаметър

Кумулативна дължина≤2*диаметър

NA

Портокалова кора/ямки/петна/ивици/пукнатини/замърсяване

Няма

NA

Крайни чипове/вдлъбнатини/счупени/шестограмни плочи

Няма

Политипни области

Няма

Кумулативна площ≤20%

Кумулативна площ≤30%

Предна лазерна маркировка

Няма

Качество на гърба

Обратно покритие

C-лице CMP

Драскотини

≤5ea/mm, Кумулативна дължина≤2*Диаметър

NA

Дефекти на гърба (стружки/вдлъбнатини по ръбовете)

Няма

Грапавост на гърба

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Лазерно маркиране на гърба

1 mm (от горния ръб)

Ръб

Ръб

фаска

Опаковка

Опаковка

Epi-ready с вакуумна опаковка

Опаковка за многовафлени касети

*Бележки: „NA“ означава, че няма заявка. Неспоменатите елементи може да се отнасят за SEMI-STD.

технически_1_2_размер
SiC пластини

Semicera Работно място Работно място Semicera 2 Оборудване машина CNN обработка, химическо почистване, CVD покритие Нашата услуга


  • Предишен:
  • следващ: