Монокристален материал от силициев карбид (SiC) има голяма ширина на забранената лента (~Si 3 пъти), висока топлопроводимост (~Si 3,3 пъти или GaAs 10 пъти), висока скорост на миграция на насищане с електрони (~Si 2,5 пъти), висока електрическа пробив поле (~Si 10 пъти или GaAs 5 пъти) и други изключителни характеристики.
Полупроводниковите материали от трето поколение включват главно SiC, GaN, диамант и др., тъй като неговата ширина на забранената лента (Eg) е по-голяма или равна на 2,3 електронволта (eV), известни също като полупроводникови материали с широка забранена лента. В сравнение с полупроводниковите материали от първо и второ поколение, полупроводниковите материали от трето поколение имат предимствата на висока топлопроводимост, силно пробивно електрическо поле, висока скорост на наситена миграция на електрони и висока енергия на свързване, което може да отговори на новите изисквания на съвременната електронна технология за високи температура, висока мощност, високо налягане, висока честота и устойчивост на радиация и други тежки условия. Той има важни перспективи за приложение в областта на националната отбрана, авиацията, космонавтиката, петролните проучвания, оптичното съхранение и др. и може да намали загубите на енергия с повече от 50% в много стратегически отрасли като широколентови комуникации, слънчева енергия, производство на автомобили, полупроводниково осветление и интелигентна мрежа и може да намали обема на оборудването с повече от 75%, което е крайъгълен камък за развитието на човешката наука и технологии.
Semicera energy може да предостави на клиентите висококачествен проводящ (проводим), полуизолиращ (полуизолиращ), HPSI (полуизолиращ с висока чистота) субстрат от силициев карбид; В допълнение, ние можем да предоставим на клиентите хомогенни и хетерогенни епитаксиални листове от силициев карбид; Можем също така да персонализираме епитаксиалния лист според специфичните нужди на клиентите и няма минимално количество за поръчка.
| Предмети | производство | Проучване | манекен |
| Кристални параметри | |||
| Политип | 4H | ||
| Грешка в ориентацията на повърхността | <11-20 >4±0,15° | ||
| Електрически параметри | |||
| Допант | n-тип азот | ||
| Съпротивление | 0,015-0,025 ом·см | ||
| Механични параметри | |||
| Диаметър | 150,0±0,2 мм | ||
| Дебелина | 350±25 μm | ||
| Основна плоска ориентация | [1-100]±5° | ||
| Първична плоска дължина | 47,5±1,5 мм | ||
| Второстепенен апартамент | Няма | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Поклон | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Деформация | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Предна (Si-лице) грапавост (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Структура | |||
| Плътност на микротръбата | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Метални примеси | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Предно качество | |||
| Преден | Si | ||
| Повърхностно покритие | Si-face CMP | ||
| частици | ≤60ea/вафла (размер≥0.3μm) | NA | |
| Драскотини | ≤5ea/mm. Кумулативна дължина ≤Диаметър | Кумулативна дължина≤2*диаметър | NA |
| Портокалова кора/ямки/петна/ивици/пукнатини/замърсяване | Няма | NA | |
| Крайни чипове/вдлъбнатини/счупени/шестограмни плочи | Няма | ||
| Политипни области | Няма | Кумулативна площ≤20% | Кумулативна площ≤30% |
| Предна лазерна маркировка | Няма | ||
| Качество на гърба | |||
| Обратно покритие | C-лице CMP | ||
| Драскотини | ≤5ea/mm, Кумулативна дължина≤2*Диаметър | NA | |
| Дефекти на гърба (стружки/вдлъбнатини по ръбовете) | Няма | ||
| Грапавост на гърба | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Лазерно маркиране на гърба | 1 mm (от горния ръб) | ||
| Ръб | |||
| Ръб | фаска | ||
| Опаковка | |||
| Опаковка | Epi-ready с вакуумна опаковка Опаковка за многовафлени касети | ||
| *Бележки: „NA“ означава, че няма заявка. Неспоменатите елементи може да се отнасят за SEMI-STD. | |||
