6-инчов n-тип sic субстрат

Кратко описание:

6-инчовият n-тип SiC субстрат‌ е полупроводников материал, характеризиращ се с използването на 6-инчов размер на пластина, което увеличава броя на устройствата, които могат да бъдат произведени на една пластина върху по-голяма повърхност, като по този начин намалява разходите на ниво устройство . Разработването и прилагането на 6-инчови n-тип SiC субстрати се възползва от напредъка на технологии като метода на растеж RAF, който намалява дислокациите чрез рязане на кристали по дислокации и успоредни посоки и повторно израстване на кристали, като по този начин подобрява качеството на субстрата. Прилагането на този субстрат е от голямо значение за подобряване на производствената ефективност и намаляване на разходите за захранващи устройства от SiC.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

Монокристален материал от силициев карбид (SiC) има голяма ширина на забранената лента (~Si 3 пъти), висока топлопроводимост (~Si 3,3 пъти или GaAs 10 пъти), висока скорост на миграция на насищане с електрони (~Si 2,5 пъти), висока електрическа пробив поле (~Si 10 пъти или GaAs 5 пъти) и други изключителни характеристики.

Полупроводниковите материали от трето поколение включват главно SiC, GaN, диамант и др., тъй като неговата ширина на забранената лента (Eg) е по-голяма или равна на 2,3 електронволта (eV), известни също като полупроводникови материали с широка забранена лента. В сравнение с полупроводниковите материали от първо и второ поколение, полупроводниковите материали от трето поколение имат предимствата на висока топлопроводимост, силно пробивно електрическо поле, висока скорост на наситена миграция на електрони и висока енергия на свързване, което може да отговори на новите изисквания на съвременната електронна технология за високи температура, висока мощност, високо налягане, висока честота и устойчивост на радиация и други тежки условия. Той има важни перспективи за приложение в областта на националната отбрана, авиацията, космонавтиката, петролните проучвания, оптичното съхранение и др. и може да намали загубите на енергия с повече от 50% в много стратегически отрасли като широколентови комуникации, слънчева енергия, производство на автомобили, полупроводниково осветление и интелигентна мрежа и може да намали обема на оборудването с повече от 75%, което е крайъгълен камък за развитието на човешката наука и технологии.

Semicera energy може да предостави на клиентите висококачествен проводящ (проводим), полуизолиращ (полуизолиращ), HPSI (полуизолиращ с висока чистота) субстрат от силициев карбид; В допълнение, ние можем да предоставим на клиентите хомогенни и хетерогенни епитаксиални листове от силициев карбид; Можем също така да персонализираме епитаксиалния лист според специфичните нужди на клиентите и няма минимално количество за поръчка.

ОСНОВНИ СПЕЦИФИКАЦИИ НА ПРОДУКТА

Размер 6-инчов
Диаметър 150.0mm+0mm/-0.2mm
Ориентация на повърхността извън ос:4°към<1120>±0.5°
Първична плоска дължина 47,5 мм 1,5 мм
Основна плоска ориентация <1120>±1.0°
Вторичен апартамент Няма
Дебелина 350.0um±25.0um
Политип 4H
Проводим тип n-тип

СПЕЦИФИКАЦИИ ЗА КАЧЕСТВО НА КРИСТАЛ

6-инчов
Елемент Клас P-MOS Клас P-SBD
Съпротивление 0,015Ω·cm-0,025Ω·cm
Политип Никой не е разрешен
Плътност на микротръбата ≤0,2/cm2 ≤0,5/cm2
EPD ≤4000/cm2 ≤8000/cm2
ТЕД ≤3000/cm2 ≤6000/cm2
BPD ≤1000/cm2 ≤2000/cm2
TSD ≤300/cm2 ≤1000/cm2
SF (измерено чрез UV-PL-355nm) ≤0,5% площ ≤1% площ
Шестоъгълни плочи чрез светлина с висок интензитет Никой не е разрешен
Визуални въглеродни включвания чрез светлина с висок интензитет Кумулативна площ≤0,05%
微信截图_20240822105943

Съпротивление

Политип

6-инчов n-тип sic субстрат (3)
6-инчов n-тип sic субстрат (4)

BPD & TSD

6-инчов n-тип sic субстрат (5)
SiC пластини

  • Предишен:
  • следващ: