RTPCVD SiC пръстенисе използват широко в индустриални и научни области при висока температура и корозивни среди. Той играе важна роля в производството на полупроводници, оптоелектрониката, прецизните машини и химическата промишленост. Специфичните приложения включват:
1. Производство на полупроводници:RTP CVD SiC пръстениможе да се използва за отопление и охлаждане на полупроводниково оборудване, осигурявайки стабилен контрол на температурата и гарантирайки точността и последователността на процеса.
2. Оптоелектроника: Благодарение на отличната си топлопроводимост и устойчивост на висока температура, RTPCVD SiC пръстенимогат да се използват като поддържащи и разсейващи топлина материали за лазери, оптично комуникационно оборудване и оптични компоненти.
3. Прецизни машини: RTP CVD SiC пръстените могат да се използват за прецизни инструменти и оборудване при висока температура и корозивни среди, като високотемпературни пещи, вакуумни устройства и химически реактори.
4. Химическа промишленост: Благодарение на своята устойчивост на корозия и химическа стабилност, RTP CVD SiC пръстените могат да се използват в контейнери, тръби и реактори в химични реакции и каталитични процеси.
Epi система
RTP система
CVD система
Производителност на продукта:
1. Запознайте се с процеса под 28n
2. Супер устойчивост на корозия
3. Супер чисто изпълнение
4. Супер твърдост
5. Висока плътност
6. Устойчивост на висока температура
7. Устойчивост на износване
Приложение на продукта:
Материалите от силициев карбид имат характеристиките на висока твърдост, устойчивост на износване, устойчивост на корозия и висока температурна стабилност. Продукти с отлична цялостна производителност се използват широко в процеси на сухо ецване и TF/дифузия.
Производителност на продукта:
1. Запознайте се с процеса под 28n
2. Супер устойчивост на корозия
3. Супер чисто изпълнение
4. Супер твърдост
5. Висока плътност
6. Устойчивост на висока температура
7. Устойчивост на износване
Разработване на композитен процес:
Графит + Sic покритие
Твърдо CvD sic
Спечен SiC+CVD
SicSintered SiC
Разработка на множество видове продукти:
Пръстен
Таблица
Токоприемник
Душ глава