SiC носител/приемник с висока чистота

Кратко описание:

Лагерният диск от силициев карбид е известен също като SIC тава, диск за ецване от силициев карбид, диск за ецване на ICP. Тава от силициев карбид за LED ецване (SiC тава) φ600mm е специален аксесоар за дълбоко ецване на силиций (ICP машина за ецване).

Изпратете имейл до нас

Подробности за продукта

Продуктови етикети

Описание

Керамиката от силициев карбид има отлични механични свойства при стайна температура, като висока якост, висока твърдост, висок модул на еластичност и т.н., също така има отлична стабилност при висока температура като висока топлопроводимост, нисък коефициент на топлинно разширение и добра специфична твърдост и оптична производителност на обработка.
Те са особено подходящи за производство на прецизни керамични части за оборудване с интегрални схеми, като литографски машини, използвани главно за производството на SiC носител/приемник, SiC вафлена лодка, засмукващ диск, плоча за водно охлаждане, рефлектор за прецизно измерване, решетка и други керамични структурни части

превозвач2

превозвач3

превозвач4

Предимства

Устойчивост на висока температура: нормална употреба при 1800 ℃
Висока топлопроводимост: еквивалентна на графитен материал
Висока твърдост: твърдост на второ място след диаманта, борен нитрид
Устойчивост на корозия: силната киселина и основата нямат корозия, устойчивостта на корозия е по-добра от волфрамов карбид и алуминиев оксид
Леко тегло: ниска плътност, близка до алуминия
Без деформация: нисък коефициент на топлинно разширение
Устойчивост на термичен шок: издържа на резки температурни промени, издържа на термичен шок и има стабилна производителност
Носител от силициев карбид, като sic ецващ носител, ICP ецващ ток, се използват широко в полупроводникови CVD, вакуумно разпръскване и т.н. Ние можем да предоставим на клиентите персонализирани носители за пластини от силиций и материали от силициев карбид, за да отговарят на различни приложения.

Предимства

Собственост	Стойност	Метод
Плътност	3,21 g/cc	Мивка-поплавък и размер
Специфична топлина	0,66 J/g °K	Импулсна лазерна светкавица
Якост на огъване	450 MPa560 MPa	4 точково огъване, RT4 точково огъване, 1300°
Якост на счупване	2,94 MPa m1/2	Микровдлъбнатина
твърдост	2800	Vicker's, 500гр товар
Еластичен модул Модул на Юнг	450 GPa430 GPa	4 pt завой, RT4 pt завой, 1300 °C
Размер на зърното	2 – 10 µm	SEM

Фирмен профил

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. е водещ доставчик на усъвършенствана полупроводникова керамика и единственият производител в Китай, който може едновременно да осигури силициево-карбидна керамика с висока чистота (особено рекристализиран SiC) и CVD SiC покритие. В допълнение, нашата компания се ангажира и с керамични области като алуминиев оксид, алуминиев нитрид, циркониев оксид и силициев нитрид и др.

Нашите основни продукти, включително: диск за офорт от силициев карбид, теглич за лодка от силициев карбид, вафлена лодка от силициев карбид (фотоволтаични и полупроводникови), тръба от силициев карбид, конзолна лопатка от силициев карбид, патронници от силициев карбид, греда от силициев карбид, както и CVD SiC покритие и TaC покритие. Продуктите, използвани главно в полупроводниковата и фотоволтаичната промишленост, като оборудване за растеж на кристали, епитаксия, ецване, опаковане, покриване и дифузионни пещи и др.
около (2)