Semicera High PurityГребло от силициев карбиде щателно проектиран, за да отговори на строгите изисквания на съвременните процеси за производство на полупроводници. товаSiC конзолна греблопревъзхожда в среда с висока температура, предлагайки несравнима термична стабилност и механична издръжливост. Конзолната структура на SiC е изградена да издържа на екстремни условия, осигурявайки надеждно боравене с пластини по време на различни процеси.
Една от ключовите иновации наSiC греблое неговият лек, но здрав дизайн, който позволява лесна интеграция в съществуващи системи. Неговата висока топлопроводимост спомага за поддържането на стабилността на пластините по време на критични фази като ецване и отлагане, минимизирайки риска от повреда на пластините и осигурявайки по-високи производствени добиви. Използването на силициев карбид с висока плътност в конструкцията на греблото повишава устойчивостта му на износване, осигурявайки удължен експлоатационен живот и намалявайки нуждата от чести смени.
Semicera поставя силен акцент върху иновациите, предоставяйки aSiC конзолна греблокойто не само отговаря, но и надхвърля индустриалните стандарти. Тази лопатка е оптимизирана за използване в различни полупроводникови приложения, от отлагане до ецване, където прецизността и надеждността са от решаващо значение. Чрез интегрирането на тази авангардна технология, производителите могат да очакват подобрена ефективност, намалени разходи за поддръжка и постоянно качество на продукта.
Физични свойства на рекристализирания силициев карбид | |
Собственост | Типична стойност |
Работна температура (°C) | 1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда) |
Съдържание на SiC | > 99,96% |
Безплатно Si съдържание | < 0,1% |
Обемна плътност | 2,60-2,70 g/cm3 |
Видима порьозност | < 16% |
Сила на натиск | > 600 MPa |
Якост на студено огъване | 80-90 MPa (20°C) |
Якост на горещо огъване | 90-100 MPa (1400°C) |
Термично разширение @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Топлопроводимост @1200°C | 23 W/m•K |
Модул на еластичност | 240 GPa |
Устойчивост на термичен удар | Изключително добре |