Висококачествено покритие от танталов карбид (TaC).

Кратко описание:

TaC покритието на Semicera предлага изключителна стабилност при високи температури, надминавайки SiC, издържайки до 2300 ℃. Идеален за отглеждане на монокристали в космическата промишленост и трето поколение полупроводници, той осигурява устойчивост на корозия, окисление и износване. Изберете Semicera за първокласно фабрично производство и качество.

Изпратете имейл до нас

Подробности за продукта

Продуктови етикети

Semicera предоставя специализирани покрития от танталов карбид (TaC) за различни компоненти и носители.Водещият процес на нанасяне на покритие Semicera позволява покритията от танталов карбид (TaC) да постигнат висока чистота, висока температурна стабилност и висока химическа толерантност, подобрявайки качеството на продукта на SIC/GAN кристали и EPI слоеве (TaC ток с графитено покритие) и удължаване на живота на ключови компоненти на реактора. Използването на покритие от TaC от танталов карбид е за решаване на проблема с ръбовете и подобряване на качеството на растежа на кристалите, а Semicera има пробив в разрешаването на технологията за покритие от танталов карбид (CVD), достигайки международно напреднало ниво.

След години на развитие Semicera завладя технологията наCVD TaCсъс съвместните усилия на отдела за научноизследователска и развойна дейност. Лесно се появяват дефекти в процеса на растеж на SiC пластини, но след употребаTaC, разликата е съществена. По-долу е сравнение на вафли със и без TaC, както и части от Semicera за монокристален растеж

Част с TaC покритие за растеж на монокристал

Покритие от танталов карбид против износване_ Предпазва оборудването от износване и корозия Показано изображение

Графитен пръстен с TaC покритие

със и без TaC

След използване на TaC (вдясно)

В допълнение, експлоатационният живот на продуктите с TaC покритие на Semicera е по-дълъг и по-устойчив на висока температура от този на SiC покритието. След дълго време на данни от лабораторни измервания, нашият TaC може да работи дълго време при максимум 2300 градуса по Целзий. Ето някои от нашите проби: