SiC щифтове за ICP процеси на ецване в LED индустрията

Кратко описание:

SiC щифтовете на Semicera за процеси на ICP ецване в LED индустрията са специално проектирани да подобрят ефективността и прецизността при приложенията за ецване. Изработени от висококачествен силициев карбид, тези щифтове предлагат отлична термична стабилност, химическа устойчивост и механична якост. Идеални за взискателните условия на производствения процес на LED, SiC щифтовете на Semicera осигуряват равномерно ецване, минимизират замърсяването и подобряват цялостната надеждност на процеса, допринасяйки за висококачествено LED производство.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

Описание на продукта

Нашата компания предоставя услуги за процес на нанасяне на SiC покритие чрез CVD метод върху повърхността на графит, керамика и други материали, така че специални газове, съдържащи въглерод и силиций, реагират при висока температура, за да се получат високочисти SiC молекули, молекули, отложени върху повърхността на покритите материали, образувайки SIC защитен слой.

Основни характеристики:

1. Устойчивост на окисление при висока температура:

устойчивостта на окисление е все още много добра, когато температурата е по-висока от 1600 C.

2. Висока чистота: направено чрез химическо отлагане на пари при високотемпературно хлориране.

3. Устойчивост на ерозия: висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.

4. Устойчивост на корозия: киселина, основи, сол и органични реагенти.

Гравиран диск от силициев карбид (2)

Основни спецификации на CVD-SIC покритие

SiC-CVD свойства

Кристална структура

FCC β фаза

Плътност

g/cm³

3.21

твърдост

Твърдост по Викерс

2500

Размер на зърното

μm

2~10

Химическа чистота

%

99.99995

Топлинен капацитет

J·kg-1 ·K-1

640

Температура на сублимация

2700

Felexural Сила

MPa (RT 4 точки)

415

Модулът на Йънг

Gpa (огъване 4 точки, 1300 ℃)

430

Термично разширение (CTE)

10-6K-1

4.5

Топлопроводимост

(W/mK)

300

Semicera Работно място
Работно място Semicera 2
Оборудване машина
CNN обработка, химическо почистване, CVD покритие
Нашата услуга

  • Предишен:
  • следващ: