Изостатична PECVD графитна лодка

Кратко описание:

Изостатичната PECVD графитна лодка се използва широко в различни звена на производството на полупроводници, като отлагане на полисилициев филм, отлагане на оксиден филм, отлагане на нитриден филм и т.н. Отличното му представяне го прави идеален носител на пластини в процеса на PECVD.

Изпратете имейл до нас

Подробности за продукта

Продуктови етикети

SEMICERA изостатична PECVD графитна лодка е графитен продукт с висока чистота и висока плътност, предназначен за поддръжка на вафли в PECVD (плазмено подобрено химическо отлагане на пари) процес. SEMICERA използва усъвършенствана технология за изостатично пресоване, за да гарантира, че графитната лодка има отлична устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия, стабилност на размерите и добра топлопроводимост, което е незаменим консуматив в процеса на производство на полупроводници.

SEMICERA изостатична PECVD графитна лодка има следните предимства:

▪ Висока чистота: Графитният материал е с висока чистота и ниско съдържание на примеси, за да се избегне замърсяване на повърхността на пластината.

▪ Висока плътност: Висока плътност, висока механична якост, може да издържи на висока температура и среда с висок вакуум.

▪ Добра стабилност на размерите: малка промяна на размерите при висока температура, за да се гарантира стабилност на процеса.

▪ Отлична топлопроводимост: Ефективно пренасяйте топлината, за да предотвратите прегряването на вафлата.

▪ Силна устойчивост на корозия: Способен да устои на ерозия от различни корозивни газове и плазма.

Параметър на производителност	semicera	SGL R6510	Параметър на производителност
Насипна плътност (g/cm3)	1.91	1.83	1,85
Якост на огъване (MPa)	63	60	49
Якост на натиск (MPa)	135	130	103
Твърдост по Шор (HS)	70	64	60
Коефициент на топлинно разширение（10-6/K）	85	105	130
Коефициент на топлинно разширение（10-6/K）	5,85	4.2	5.0
Съпротивление (μΩm)	11-13	13	10

Предимства да изберете нас:
▪ Избор на материал: Използват се графитни материали с висока чистота, за да се гарантира качеството на продукта.
▪ Технология на обработка: Използва се изостатично пресоване за осигуряване на плътност и еднородност на продукта.
▪ Персонализиране на размера: Графитни лодки с различни размери и форми могат да бъдат персонализирани според нуждите на клиента.
▪ Повърхностна обработка: Предлагат се различни методи за повърхностна обработка, като покритие от силициев карбид, борен нитрид и др., за да се отговори на различните изисквания на процеса.