Всички тънки филми, използвани в производството на полупроводници, имат съпротивление, а съпротивлението на филма има пряко въздействие върху работата на устройството. Обикновено не измерваме абсолютното съпротивление на фолиото, а използваме съпротивлението на листа, за да го характеризираме.
Какво представлява съпротивлението на листа и обемното съпротивление?
Обемното съпротивление, известно още като обемно съпротивление, е присъщо свойство на материала, което характеризира доколко материалът възпрепятства протичането на електрически ток. Често използваният символ ρ представлява, единицата е Ω.
Съпротивление на листа, известно още като съпротивление на листа, английското наименование е sheet resistance, което се отнася до стойността на съпротивлението на фолиото на единица площ. Често използвани символи Rs или ρs за изразяване, единицата е Ω/sq или Ω/□
Връзката между двете е: листово съпротивление = обемно съпротивление/дебелина на филма, тоест Rs =ρ/t
Защо да измервате съпротивлението на листа?
Измерването на абсолютното съпротивление на филм изисква точно познаване на геометричните размери на филма (дължина, ширина, дебелина), които имат много променливи и са много сложни за много тънки или неправилно оформени филми. Съпротивлението на листа е свързано само с дебелината на фолиото и може да бъде бързо и директно тествано без сложни изчисления на размера.
Кои филми трябва да измерват устойчивостта на листа?
Обикновено проводимите филми и полупроводниковите филми трябва да се измерват за квадратно съпротивление, докато изолационните филми не трябва да се измерват.
При легиране на полупроводници също се измерва листовото съпротивление на силиций.
Как да измерим квадратното съпротивление?
Методът с четири сонди обикновено се използва в индустрията. Методът с четири сонди може да измерва квадратно съпротивление в диапазона от 1E-3 до 1E+9Ω/sq. Методът с четири сонди може да избегне грешки при измерване, дължащи се на контактно съпротивление между сондата и пробата.
Методи за измерване:
1) Поставете четири линейно подредени сонди върху повърхността на пробата.
2) Приложете постоянен ток между двете външни сонди.
3) Определете съпротивлението чрез измерване на потенциалната разлика между двете вътрешни сонди
RS : устойчивост на листа
ΔV: Промяна в напрежението, измерена между вътрешните сонди
I : Ток, приложен между външните сонди
Време на публикуване: 29 март 2024 г