Полупроводниковата индустрия е свидетел на безпрецедентен растеж, особено в областта насилициев карбид (SiC)силова електроника. С много мащабнивафлафабрики, които са в процес на изграждане или разширение, за да отговорят на нарастващото търсене на SiC устройства в електрически превозни средства, този бум предоставя забележителни възможности за растеж на печалбата. Въпреки това, той също така носи уникални предизвикателства, които изискват иновативни решения.
В основата на нарастващото глобално производство на SiC чипове лежи производството на висококачествени SiC кристали, пластини и епитаксиални слоеве. тук,полупроводников клас графитматериалите играят основна роля, улеснявайки растежа на SiC кристали и отлагането на SiC епитаксиални слоеве. Термоизолацията и инертността на графита го правят предпочитан материал, широко използван в тигели, пиедестали, планетарни дискове и сателити в системите за растеж на кристали и епитаксия. Въпреки това тежките условия на процеса представляват значително предизвикателство, което води до бързо разграждане на графитните компоненти и впоследствие възпрепятства производството на висококачествени SiC кристали и епитаксиални слоеве.
Производството на кристали от силициев карбид включва изключително тежки условия на процеса, включително температури над 2000°C и силно корозивни газови вещества. Това често води до пълна корозия на графитните тигли след няколко цикъла на процеса, като по този начин ескалира производствените разходи. Освен това суровите условия променят повърхностните свойства на графитните компоненти, компрометирайки повторяемостта и стабилността на производствения процес.
За да се бори ефективно с тези предизвикателства, технологията за защитно покритие се очертава като промяна на играта. Защитни покрития на базатанталов карбид (TaC)са въведени за справяне с проблемите на разграждането на графитните компоненти и недостига на доставка на графит. TaC материалите показват температура на топене над 3800°C и изключителна химическа устойчивост. Използвайки технологията за химическо отлагане на пари (CVD),TaC покритияс дебелина до 35 милиметра могат да бъдат безпроблемно отложени върху графитни компоненти. Този защитен слой не само подобрява стабилността на материала, но също така значително удължава живота на графитните компоненти, като по този начин намалява производствените разходи и повишава оперативната ефективност.
Semicera, водещ доставчик наTaC покрития, допринесе за революцията в полупроводниковата индустрия. Със своята авангардна технология и непоколебим ангажимент към качеството, Semicera даде възможност на производителите на полупроводници да преодолеят критичните предизвикателства и да постигнат нови висоти на успеха. Като предлага TaC покрития с несравнима производителност и надеждност, Semicera затвърди позицията си на доверен партньор за полупроводникови компании по целия свят.
В заключение, технология за защитно покритие, задвижвана от иновации катоTaC покритияот Semicera, прекроява пейзажа на полупроводниците и проправя пътя за по-ефективно и устойчиво бъдеще.
Време на публикуване: 16 май 2024 г