Процесът на сухо ецване обикновено се състои от четири основни състояния: преди ецване, частично ецване, само ецване и над ецване. Основните характеристики са скорост на ецване, селективност, критичен размер, еднородност и откриване на крайна точка. Фигура 1 Преди ецване Фигура 2 Частично ецване Фигура...
Прочетете повече