Танталов карбид (TaC)е бинарно съединение на тантал и въглерод с химическа формула TaC x, където x обикновено варира между 0,4 и 1. Те са изключително твърди, крехки, огнеупорни керамични материали с метална проводимост. Те са кафяво-сиви прахове и обикновено се обработват чрез синтероване.
Танталов карбиде важен металокерамичен материал. Една много важна употреба на танталов карбид е покритието от танталов карбид.
Продуктови характеристики на покритие от танталов карбид
Висока точка на топене: Точката на топене натанталов карбиде толкова висока, колкото3880°C, което го прави стабилен при висока температура и не е лесен за топене или разграждане.
Работно състояние:Като цяло нормалното работно състояние на танталов карбид (TaC) е 2200°C. Като се има предвид неговата изключително висока точка на топене, TaC е проектиран да издържа на такива високи температури, без да губи своята структурна цялост.
Твърдост и устойчивост на износване: Има изключително висока твърдост (твърдостта по Моос е около 9-10) и може ефективно да устои на износване и надраскване.
Химическа стабилност: Има добра химическа стабилност към повечето киселини и основи и може да устои на корозия и химични реакции.
Топлопроводимост: Добрата топлопроводимост му позволява ефективно да разпръсква и провежда топлина, намалявайки въздействието на натрупването на топлина върху материала.
Сценарии на приложение и предимства в полупроводниковата индустрия
MOCVD оборудване: В MOCVD (химическо отлагане на пари) оборудване,покрития от танталов карбидсе използват за защита на реакционната камера и други високотемпературни компоненти, намаляване на ерозията на оборудването от отлагания и удължаване на експлоатационния живот на оборудването.
Предимства: Подобрете устойчивостта на висока температура на оборудването, намалете честотата и разходите за поддръжка и подобрете ефективността на производството.
Обработка на вафли: Използвани в системи за обработка и предаване на пластини, покритията от танталов карбид могат да подобрят устойчивостта на износване и устойчивостта на корозия на оборудването.
Предимства: Намалете проблемите с качеството на продукта, причинени от износване или корозия, и гарантирайте стабилността и последователността на обработката на вафли.
Инструменти за обработка на полупроводници: В инструментите за полупроводникови процеси, като йонни импланти и ецващи машини, покритията от танталов карбид могат да подобрят издръжливостта на инструментите.
Предимства: Удължете живота на инструментите, намалете времето за престой и разходите за подмяна и подобрете ефективността на производството.
Зони с висока температура: В електронни компоненти и устройства в среда с висока температура, покритията от танталов карбид се използват за защита на материалите от високи температури.
Предимства: Осигурява стабилност и надеждност на електронните компоненти при екстремни температурни условия.
Бъдещи тенденции на развитие
Материално подобрение: С развитието на науката за материалите, формулирането и технологията на отлагане напокрития от танталов карбидще продължи да се подобрява, за да подобри ефективността си и да намали разходите. Например могат да бъдат разработени по-трайни и евтини материали за покритие.
Технология на отлагане: Ще бъде възможно да има по-ефективни и прецизни технологии за отлагане, като подобрени PVD и CVD технологии, за оптимизиране на качеството и производителността на покритията от танталов карбид.
Нови области на приложение: Областите на приложение напокрития от танталов карбидще се разшири до повече високотехнологични и индустриални области, като аерокосмическата, енергийната и автомобилната промишленост, за да отговори на търсенето на високоефективни материали.
Време на публикуване: 8 август 2024 г