Въвеждане на вафлен носител
ПРОДУКТОВА КАТЕГОРИЯ
▶Система за носене на пластини за PECVD и TALOX процес
• Графитна лодка PECVD & TALOX (M4~M12)
• Вертикална SM-лодка (M4, M6)
• Графитна част за имплант и душ (M4~M6)
• C/C табла и керамично покритие
• Метална тава RIE и керамично покритие
• Вакуумно уплътнение: О-пръстен & SQ-пръстен
▶Процес на прехвърляне на текстуриране и мокро ецване
• LSC H-Carrier или касета (M4~M12)
• LSC V-Carrier или касета (M4~M12)
• ASC носач или касета (M4, M6)
• W/F кутия за носене и съхранение (M4~M12)
• Серия транспортни колела (ролки).
▶Носител за слънчеви клетки и метален носител
• TRC носител или касета (M4~M12)
• Списание (с КОЛАН)
ГРАФИТНА ЛОДКА (H-тип)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ГРАФИТНА ЛОДКА (H-тип)
21P6-240CT WF M4~M12)
ГРАФИТНА ЛОДКА (H-тип)
23P7-308CT (W/F M4~M12)
ГРАФИТНА ЛОДКА (H-тип)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
ГРАФИТНА ЛОДКА (H-тип)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF НОСИТЕЛ И КУТИЯ ЗА СЪХРАНЕНИЕ (~M12)
C/C TRAY или CARRIER (M4~M10)
C/C TRAY или CARRIER (M4~M10)
ВЕРТИКАЛНА ЛОДКА (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC НОСАЧ (~M6)
TRC НОСАЧ (~M12)
TRC НОСАЧ (~M12)
ГРАФИТНА ЛОДКА(M12)
Система за носене на пластини за PECVD процес
▶ ГРАФИТНА ЛОДКА (проектирана от CT) Процес M10/M12
• СПЕЦИАЛНА КОНЦЕПЦИЯ ЗА ДИЗАЙН
▶ ГРАФИТНА ЛОДКА (проектирана от CT) Процес M4/M6
▶ Аксесоари за ЛОДКА
▶ ВЕРТИКАЛНА ЛОДКА-161.7мм ВАФЛ
▶ ВЕРТИКАЛНА ЛОДКА-166мм
▶ ВЕРТИКАЛНА ЛОДКА-161.7mm, 166mm WAFER
Носач за соларни клетки и метален TRC носач
ТИП : Автоматизация
РАЗМЕР НА ВАФЛАТА: ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
УПОТРЕБА: Носене (касета)
КАПАЦИТЕТ: 100 листа
СТЪПКА: 4,76 мм/5,953 мм/6,35 мм
РАЗМЕРИ: Приблизително 559×220×220MM
Приблизително 712×260×260MM
ПРЕДИМСТВО : Атмосфера
МАТЕРИАЛ: ПЛАМЪК, СТРАНИЧНА ЛЕНТА-Алуминий (анодизиран)
СТРАНИЧНА ПЛОЧКА-POM (антистатична)
Капак на долната лента-EPDM/PU/VITON (ASE)