PFA касета

Кратко описание:

PFA касета– Изпитайте несравнима химическа устойчивост и издръжливост с PFA касетата на Semicera, идеалното решение за безопасно и ефективно боравене с пластини в производството на полупроводници.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

Semiceraима удоволствието да предложиPFA касета, първокласен избор за обработка на вафли в среди, където химическата устойчивост и издръжливостта са от първостепенно значение. Изработена от перфлуороалкокси (PFA) материал с висока чистота, тази касета е проектирана да издържа на най-взискателните условия при производството на полупроводници, като гарантира безопасността и целостта на вашите пластини.

Ненадмината химическа устойчивостThePFA касетае проектиран да осигурява превъзходна устойчивост на широка гама от химикали, което го прави перфектният избор за процеси, които включват агресивни киселини, разтворители и други агресивни химикали. Тази здрава химическа устойчивост гарантира, че касетата остава непокътната и функционална дори в най-корозивните среди, като по този начин удължава живота й и намалява необходимостта от чести смени.

Строителство с висока чистотана SemiceraPFA касетае произведен от изключително чист PFA материал, който е от решаващо значение за предотвратяване на замърсяване по време на обработката на пластини. Тази конструкция с висока чистота минимизира риска от генериране на частици и химическо излугване, като гарантира, че вашите вафли са защитени от примеси, които биха могли да компрометират качеството им.

Подобрена издръжливост и производителностПроектиран за издръжливост,PFA касетазапазва своята структурна цялост при екстремни температури и строги условия на обработка. Независимо дали е изложена на високи температури или е подложена на многократно боравене, тази касета запазва своята форма и производителност, предлагайки дългосрочна надеждност в взискателни производствени среди.

Прецизно инженерство за сигурно боравенеTheSemicera PFA касетаразполага с прецизен инженеринг, който гарантира сигурно и стабилно боравене с пластини. Всеки слот е внимателно проектиран да държи вафлите сигурно на място, предотвратявайки всяко движение или преместване, което може да доведе до повреда. Това прецизно инженерство поддържа последователно и точно поставяне на пластини, допринасяйки за цялостната ефективност на процеса.

Гъвкаво приложение в различни процесиБлагодарение на своите превъзходни свойства на материала,PFA касетае достатъчно гъвкав, за да се използва на различни етапи от производството на полупроводници. Той е особено подходящ за мокро ецване, химическо отлагане на пари (CVD) и други процеси, които включват тежки химически среди. Неговата адаптивност го прави основен инструмент за поддържане на целостта на процеса и качеството на пластините.

Ангажимент за качество и иновацииВ Semicera се ангажираме да предоставяме продукти, които отговарят на най-високите индустриални стандарти. ThePFA касетаилюстрира този ангажимент, предлагайки надеждно решение, което се интегрира безпроблемно във вашите производствени процеси. Всяка касета се подлага на строг контрол на качеството, за да се гарантира, че отговаря на нашите строги критерии за производителност, осигурявайки съвършенството, което очаквате от Semicera.

Предмети

производство

Проучване

манекен

Кристални параметри

Политип

4H

Грешка в ориентацията на повърхността

<11-20 >4±0,15°

Електрически параметри

Допант

n-тип азот

Съпротивление

0,015-0,025 ом·см

Механични параметри

Диаметър

150,0±0,2 мм

Дебелина

350±25 μm

Основна плоска ориентация

[1-100]±5°

Основна плоска дължина

47,5±1,5 мм

Второстепенен апартамент

Няма

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Поклон

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Деформация

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Предна (Si-лице) грапавост (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Структура

Плътност на микротръбата

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Метални примеси

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Предно качество

Преден

Si

Повърхностно покритие

Si-face CMP

частици

≤60ea/вафла (размер≥0.3μm)

NA

Драскотини

≤5ea/mm. Кумулативна дължина ≤Диаметър

Кумулативна дължина≤2*диаметър

NA

Портокалова кора/ямки/петна/ивици/пукнатини/замърсяване

Няма

NA

Крайни чипове/вдлъбнатини/счупени/шестограмни плочи

Няма

Политипни области

Няма

Кумулативна площ≤20%

Кумулативна площ≤30%

Предна лазерна маркировка

Няма

Качество на гърба

Обратно покритие

C-лице CMP

Драскотини

≤5ea/mm, Кумулативна дължина≤2*Диаметър

NA

Дефекти на гърба (стружки/вдлъбнатини по ръбовете)

Няма

Грапавост на гърба

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Лазерно маркиране на гърба

1 mm (от горния ръб)

Ръб

Ръб

фаска

Опаковка

Опаковка

Epi-ready с вакуумна опаковка

Опаковка за многовафлени касети

*Бележки: „NA“ означава, че няма заявка. Неспоменатите елементи може да се отнасят за SEMI-STD.

технически_1_2_размер
SiC пластини

  • Предишен:
  • следващ: