SiC покритиеЧаст от графитен полумесеце ключов компонент, използван в процесите на производство на полупроводници, особено за SiC епитаксиално оборудване. Ние използваме нашата патентована технология, за да направим частта полумесец с изключително висока чистота, добра равномерност на покритието и отличен експлоатационен живот, както и висока химическа устойчивост и термична стабилност.