SemiceraвъвеждаПолупроводникова касета, основен инструмент за сигурно и ефективно боравене с пластини през целия процес на производство на полупроводници. Проектирана с висока прецизност, тази касета гарантира, че вашите вафли са безопасно съхранявани и транспортирани, като запазва целостта си на всеки етап.
Превъзходна защита и издръжливостTheПолупроводникова касетаот Semicera е създаден, за да предложи максимална защита на вашите вафли. Изработен от здрави, устойчиви на замърсяване материали, той предпазва вашите вафли от потенциална повреда и замърсяване, което го прави идеален избор за среди с чисти помещения. Дизайнът на касетата минимизира генерирането на частици и гарантира, че вафлите остават недокоснати и сигурни по време на работа и транспортиране.
Подобрен дизайн за оптимална производителностна SemiceraПолупроводникова касетаразполага с щателно проектиран дизайн, който осигурява прецизно подравняване на пластините, намалявайки риска от неправилно подравняване и механични повреди. Слотовете на касетата са идеално разположени, за да държат сигурно всяка пластина, предотвратявайки всяко движение, което може да доведе до драскотини или други несъвършенства.
Гъвкавост и съвместимостTheПолупроводникова касетае универсален и съвместим с различни размери на пластини, което го прави подходящ за различни етапи от производството на полупроводници. Независимо дали работите със стандартни или персонализирани размери на пластини, тази касета се адаптира към вашите нужди, предлагайки гъвкавост във вашите производствени процеси.
Рационализирано управление и ефективностПроектиран с мисъл за потребителя,Полупроводникова касета Semiceraе лек и лесен за работа, което позволява бързо и ефективно товарене и разтоварване. Този ергономичен дизайн не само спестява време, но и намалява риска от човешка грешка, осигурявайки безпроблемни операции във вашето съоръжение.
Покриване на индустриалните стандартиSemicera гарантира, чеПолупроводникова касетаотговаря на най-високите индустриални стандарти за качество и надеждност. Всяка касета се подлага на строги тестове, за да се гарантира, че работи постоянно при взискателните условия на производство на полупроводници. Тази отдаденост на качеството гарантира, че вашите вафли са винаги защитени, поддържайки високите стандарти, изисквани в индустрията.
| Предмети | производство | Проучване | манекен |
| Кристални параметри | |||
| Политип | 4H | ||
| Грешка в ориентацията на повърхността | <11-20 >4±0,15° | ||
| Електрически параметри | |||
| Допант | n-тип азот | ||
| Съпротивление | 0,015-0,025 ом·см | ||
| Механични параметри | |||
| Диаметър | 150,0±0,2 мм | ||
| Дебелина | 350±25 μm | ||
| Основна плоска ориентация | [1-100]±5° | ||
| Основна плоска дължина | 47,5±1,5 мм | ||
| Второстепенен апартамент | Няма | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Поклон | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Деформация | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Предна (Si-лице) грапавост (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Структура | |||
| Плътност на микротръбата | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Метални примеси | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Предно качество | |||
| Отпред | Si | ||
| Повърхностно покритие | Si-face CMP | ||
| частици | ≤60ea/вафла (размер≥0.3μm) | NA | |
| Драскотини | ≤5ea/mm. Кумулативна дължина ≤Диаметър | Кумулативна дължина≤2*диаметър | NA |
| Портокалова кора/ямки/петна/ивици/пукнатини/замърсяване | Няма | NA | |
| Крайни чипове/вдлъбнатини/счупени/шестограмни плочи | Няма | ||
| Политипни области | Няма | Кумулативна площ≤20% | Кумулативна площ≤30% |
| Предна лазерна маркировка | Няма | ||
| Качество на гърба | |||
| Обратно покритие | C-лице CMP | ||
| Драскотини | ≤5ea/mm, Кумулативна дължина≤2*Диаметър | NA | |
| Дефекти на гърба (стружки/вдлъбнатини по ръбовете) | Няма | ||
| Грапавост на гърба | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Лазерно маркиране на гърба | 1 mm (от горния ръб) | ||
| Edge | |||
| Edge | фаска | ||
| Опаковка | |||
| Опаковка | Epi-ready с вакуумна опаковка Опаковка за многовафлени касети | ||
| *Бележки: „NA“ означава, че няма заявка. Неспоменатите елементи може да се отнасят за SEMI-STD. | |||
