Си епитаксия

Кратко описание:

Си епитаксия– Постигнете превъзходна производителност на устройството със Si Epitaxy на Semicera, предлагаща прецизно отгледани силициеви слоеве за усъвършенствани полупроводникови приложения.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

Semiceraпредставя своето високо качествоСи епитаксияуслуги, проектирани да отговарят на взискателните стандарти на днешната полупроводникова индустрия. Епитаксиалните силициеви слоеве са критични за производителността и надеждността на електронните устройства, а нашите решения за Si Epitaxy гарантират, че вашите компоненти постигат оптимална функционалност.

Прецизно отгледани силиконови слоеве Semiceraразбира, че основата на високопроизводителните устройства се крие в качеството на използваните материали. НашитеСи епитаксияпроцесът е щателно контролиран за получаване на силициеви слоеве с изключителна еднородност и кристална цялост. Тези слоеве са от съществено значение за приложения, вариращи от микроелектроника до усъвършенствани захранващи устройства, където последователността и надеждността са от първостепенно значение.

Оптимизиран за производителност на устройствотоTheСи епитаксияуслугите, предлагани от Semicera, са пригодени да подобрят електрическите свойства на вашите устройства. Чрез отглеждане на силициеви слоеве с висока чистота с ниска плътност на дефектите, ние гарантираме, че вашите компоненти работят по най-добрия начин, с подобрена мобилност на носителя и минимизирано електрическо съпротивление. Тази оптимизация е критична за постигане на високоскоростни и високоефективни характеристики, изисквани от съвременната технология.

Гъвкавост в приложенията SemiceraеСи епитаксияе подходящ за широк спектър от приложения, включително производството на CMOS транзистори, мощни MOSFET транзистори и биполярни транзистори. Нашият гъвкав процес позволява персонализиране въз основа на специфичните изисквания на вашия проект, независимо дали имате нужда от тънки слоеве за високочестотни приложения или по-дебели слоеве за захранващи устройства.

Превъзходно качество на материалаКачеството е в основата на всичко, което правим в Semicera. НашитеСи епитаксияПроцесът използва най-съвременно оборудване и техники, за да гарантира, че всеки силициев слой отговаря на най-високите стандарти за чистота и структурна цялост. Това внимание към детайлите минимизира появата на дефекти, които биха могли да повлияят на производителността на устройството, което води до по-надеждни и по-дълготрайни компоненти.

Ангажимент за иновации Semiceraсе ангажира да остане в челните редици на полупроводниковите технологии. НашитеСи епитаксияуслугите отразяват този ангажимент, като включват най-новите постижения в техниките за епитаксиален растеж. Ние непрекъснато усъвършенстваме нашите процеси, за да доставяме силициеви слоеве, които отговарят на развиващите се нужди на индустрията, като гарантираме, че вашите продукти остават конкурентни на пазара.

Персонализирани решения за вашите нуждиРазбирайки, че всеки проект е уникален,Semiceraпредлага персонализираниСи епитаксиярешения, които да отговарят на вашите специфични нужди. Независимо дали имате нужда от специфични допинг профили, дебелини на слоя или повърхностни покрития, нашият екип работи в тясно сътрудничество с вас, за да достави продукт, който отговаря на вашите точни спецификации.

Предмети

производство

Проучване

манекен

Кристални параметри

Политип

4H

Грешка в ориентацията на повърхността

<11-20 >4±0,15°

Електрически параметри

Допант

n-тип азот

Съпротивление

0,015-0,025 ом·см

Механични параметри

Диаметър

150,0±0,2 мм

Дебелина

350±25 μm

Основна плоска ориентация

[1-100]±5°

Основна плоска дължина

47,5±1,5 мм

Второстепенен апартамент

Няма

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Поклон

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Деформация

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Предна (Si-лице) грапавост (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Структура

Плътност на микротръбата

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Метални примеси

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Предно качество

Отпред

Si

Повърхностно покритие

Si-face CMP

частици

≤60ea/вафла (размер≥0.3μm)

NA

Драскотини

≤5ea/mm. Кумулативна дължина ≤Диаметър

Кумулативна дължина≤2*диаметър

NA

Портокалова кора/ямки/петна/ивици/пукнатини/замърсяване

Няма

NA

Крайни чипове/вдлъбнатини/счупени/шестограмни плочи

Няма

Политипни области

Няма

Кумулативна площ≤20%

Кумулативна площ≤30%

Предна лазерна маркировка

Няма

Качество на гърба

Обратно покритие

C-лице CMP

Драскотини

≤5ea/mm, Кумулативна дължина≤2*Диаметър

NA

Дефекти на гърба (стружки/вдлъбнатини по ръбовете)

Няма

Грапавост на гърба

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Лазерно маркиране на гърба

1 mm (от горния ръб)

Edge

Edge

фаска

Опаковка

Опаковка

Epi-ready с вакуумна опаковка

Опаковка за многовафлени касети

*Бележки: „NA“ означава, че няма заявка. Неспоменатите елементи може да се отнасят за SEMI-STD.

технически_1_2_размер
SiC пластини

  • Предишен:
  • следващ: