Si субстрат

Кратко описание:

Със своята превъзходна прецизност и висока чистота, Si Substrate на Semicera осигурява надеждна и последователна производителност в критични приложения, включително производство на Epi-Wafer и галиев оксид (Ga2O3). Проектиран да поддържа производството на модерна микроелектроника, този субстрат предлага изключителна съвместимост и стабилност, което го прави основен материал за авангардни технологии в телекомуникационния, автомобилния и промишления сектор.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

Si субстратът от Semicera е основен компонент в производството на високопроизводителни полупроводникови устройства. Проектиран от силиций с висока чистота (Si), този субстрат предлага изключителна еднородност, стабилност и отлична проводимост, което го прави идеален за широк спектър от съвременни приложения в полупроводниковата индустрия. Независимо дали се използва в производството на Si Wafer, SiC субстрат, SOI Wafer или SiN субстрат, Semicera Si субстратът осигурява постоянно качество и превъзходна производителност, за да отговори на нарастващите изисквания на съвременната електроника и науката за материалите.

Ненадмината производителност с висока чистота и прецизност

Si субстратът на Semicera се произвежда с помощта на усъвършенствани процеси, които гарантират висока чистота и строг контрол на размерите. Субстратът служи като основа за производството на различни високоефективни материали, включително Epi-Wafers и AlN Wafers. Прецизността и еднородността на Si Substrate го правят отличен избор за създаване на тънкослойни епитаксиални слоеве и други критични компоненти, използвани в производството на полупроводници от следващо поколение. Независимо дали работите с галиев оксид (Ga2O3) или други усъвършенствани материали, Si Substrate на Semicera гарантира най-високи нива на надеждност и производителност.

Приложения в производството на полупроводници

В полупроводниковата индустрия Si Substrate от Semicera се използва в широк спектър от приложения, включително производство на SiC Wafer и SiC Substrate, където осигурява стабилна, надеждна основа за отлагане на активни слоеве. Субстратът играе критична роля при производството на SOI пластини (Silicon On Insulator), които са от съществено значение за модерната микроелектроника и интегрални схеми. Освен това, Epi-Wafers (епитаксиални пластини), изградени върху Si субстрати, са неразделна част от производството на високопроизводителни полупроводникови устройства като мощни транзистори, диоди и интегрални схеми.

Si субстратът също така поддържа производството на устройства, използващи галиев оксид (Ga2O3), обещаващ широколентов материал, използван за приложения с висока мощност в силовата електроника. В допълнение, съвместимостта на Si Substrate на Semicera с AlN вафли и други усъвършенствани субстрати гарантира, че може да отговори на разнообразните изисквания на високотехнологичните индустрии, което го прави идеално решение за производството на авангардни устройства в телекомуникационния, автомобилния и промишления сектор .

Надеждно и постоянно качество за високотехнологични приложения

Si субстратът от Semicera е внимателно проектиран, за да отговори на строгите изисквания на производството на полупроводници. Неговата изключителна структурна цялост и висококачествени повърхностни свойства го правят идеалния материал за използване в касетъчни системи за транспортиране на пластини, както и за създаване на високопрецизни слоеве в полупроводникови устройства. Способността на субстрата да поддържа постоянно качество при различни условия на процеса гарантира минимални дефекти, повишавайки добива и производителността на крайния продукт.

Със своята превъзходна топлопроводимост, механична якост и висока чистота, Si Substrate на Semicera е избраният материал за производителите, които искат да постигнат най-високите стандарти за прецизност, надеждност и производителност в производството на полупроводници.

Изберете Si субстрата на Semicera за решения с висока чистота и висока производителност

За производителите в полупроводниковата индустрия Si Substrate от Semicera предлага стабилно, висококачествено решение за широк спектър от приложения, от производството на Si Wafer до създаването на Epi-Wafers и SOI Wafers. С несравнима чистота, прецизност и надеждност, този субстрат позволява производството на авангардни полупроводникови устройства, осигурявайки дълготрайна производителност и оптимална ефективност. Изберете Semicera за вашите нужди от Si субстрат и се доверете на продукт, предназначен да отговори на изискванията на утрешните технологии.

Предмети

производство

Проучване

манекен

Кристални параметри

Политип

4H

Грешка в ориентацията на повърхността

<11-20 >4±0,15°

Електрически параметри

Допант

n-тип азот

Съпротивление

0,015-0,025 ом·см

Механични параметри

Диаметър

150,0±0,2 мм

Дебелина

350±25 μm

Основна плоска ориентация

[1-100]±5°

Основна плоска дължина

47,5±1,5 мм

Второстепенен апартамент

Няма

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Поклон

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Деформация

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Предна (Si-лице) грапавост (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Структура

Плътност на микротръбата

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Метални примеси

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Предно качество

Отпред

Si

Повърхностно покритие

Si-face CMP

частици

≤60ea/вафла (размер≥0.3μm)

NA

Драскотини

≤5ea/mm. Кумулативна дължина ≤Диаметър

Кумулативна дължина≤2*диаметър

NA

Портокалова кора/ямки/петна/ивици/пукнатини/замърсяване

Няма

NA

Крайни чипове/вдлъбнатини/счупени/шестограмни плочи

Няма

Политипни области

Няма

Кумулативна площ≤20%

Кумулативна площ≤30%

Предна лазерна маркировка

Няма

Качество на гърба

Обратно покритие

C-лице CMP

Драскотини

≤5ea/mm, Кумулативна дължина≤2*Диаметър

NA

Дефекти на гърба (стружки/вдлъбнатини по ръбовете)

Няма

Грапавост на гърба

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Лазерно маркиране на гърба

1 mm (от горния ръб)

Edge

Edge

фаска

Опаковка

Опаковка

Epi-ready с вакуумна опаковка

Опаковка за многовафлени касети

*Бележки: „NA“ означава, че няма заявка. Неспоменатите елементи може да се отнасят за SEMI-STD.

технически_1_2_размер
SiC пластини

  • Предишен:
  • следващ: