Описание
SiC Wafer Susceptors на Semicorex за MOCVD (металоорганично химическо отлагане на пари) са проектирани да отговорят на взискателните изисквания на процесите на епитаксиално отлагане. Използвайки висококачествен силициев карбид (SiC), тези фиксатори предлагат несравнима издръжливост и производителност при висока температура и корозивни среди, осигурявайки прецизно и ефективно израстване на полупроводникови материали.
Ключови характеристики:
1. Превъзходни свойства на материалаИзработени от висококачествен SiC, нашите пластинкови фиксатори показват изключителна топлопроводимост и химическа устойчивост. Тези свойства им позволяват да издържат на екстремните условия на процесите MOCVD, включително високи температури и корозивни газове, осигурявайки дълготрайност и надеждна работа.
2. Прецизност при епитаксиално отлаганеПрецизното проектиране на нашите SiC Wafer Susceptors осигурява равномерно разпределение на температурата по повърхността на пластината, улеснявайки постоянен и висококачествен растеж на епитаксиалния слой. Тази прецизност е критична за производството на полупроводници с оптимални електрически свойства.
3. Подобрена издръжливостЗдравият SiC материал осигурява отлична устойчивост на износване и деградация, дори при продължително излагане на тежки процеси. Тази издръжливост намалява честотата на смяната на фиксатора, минимизирайки времето за престой и оперативните разходи.
Приложения:
SiC Wafer Susceptors на Semicorex за MOCVD са идеално подходящи за:
• Епитаксиален растеж на полупроводникови материали
• Високотемпературни MOCVD процеси
• Производство на GaN, AlN и други съставни полупроводници
• Разширени приложения за производство на полупроводници
Основни спецификации на CVD-SIC покрития:
Предимства:
•Висока точност: Осигурява равномерен и висококачествен епитаксиален растеж.
•Дълготрайна производителност: Изключителната издръжливост намалява честотата на смяна.
• Ефективност на разходите: Минимизира оперативните разходи чрез намалено време на престой и поддръжка.
•Универсалност: Може да се персонализира, за да отговаря на изискванията на различни MOCVD процеси.