PSS обработващ носител за предаване на полупроводникови пластини

Кратко описание:

PSS Processing Carrier за предаване на полупроводникови пластини на Semicera е проектиран за ефективно боравене и прехвърляне на полупроводникови пластини по време на производствените процеси. Изработен от висококачествени материали, този носач осигурява прецизно подравняване, минимално замърсяване и гладко транспортиране на пластини. Проектирани за полупроводниковата индустрия, PSS носителите на Semicera подобряват ефективността на процеса, надеждността и добива, което ги прави основен компонент в приложенията за обработка и обработка на пластини.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

Описание на продукта

Нашата компания предоставя услуги за процес на нанасяне на SiC покритие чрез CVD метод върху повърхността на графит, керамика и други материали, така че специални газове, съдържащи въглерод и силиций, реагират при висока температура, за да се получат високочисти SiC молекули, молекули, отложени върху повърхността на покритите материали, образувайки SIC защитен слой.

Основни характеристики:

1. Устойчивост на окисление при висока температура:

устойчивостта на окисление е все още много добра, когато температурата е по-висока от 1600 C.

2. Висока чистота: направено чрез химическо отлагане на пари при високотемпературно хлориране.

3. Устойчивост на ерозия: висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.

4. Устойчивост на корозия: киселина, основи, сол и органични реагенти.

Основни спецификации на CVD-SIC покритие

SiC-CVD свойства

Кристална структура

FCC β фаза

Плътност

g/cm³

3.21

твърдост

Твърдост по Викерс

2500

Размер на зърното

μm

2~10

Химическа чистота

%

99.99995

Топлинен капацитет

J·kg-1 ·K-1

640

Температура на сублимация

2700

Felexural Сила

MPa (RT 4 точки)

415

Модулът на Йънг

Gpa (огъване 4 точки, 1300 ℃)

430

Термично разширение (CTE)

10-6K-1

4.5

Топлопроводимост

(W/mK)

300

Semicera Работно място
Работно място Semicera 2
Оборудване машина
CNN обработка, химическо почистване, CVD покритие
Нашата услуга

  • Предишен:
  • следващ: