Носеща плоча от силициев карбид RTA за полупроводници

Кратко описание:

Силициевият карбид е нов тип керамика с висока цена и отлични свойства на материала. Благодарение на характеристики като висока якост и твърдост, устойчивост на висока температура, голяма топлопроводимост и устойчивост на химическа корозия, силициевият карбид може да издържи почти на всички химически среди. Следователно SiC се използва широко в петролния добив, химикалите, машините и въздушното пространство, дори ядрената енергетика и военните имат своите специални изисквания към SIC. Някои нормални приложения, които можем да предложим, са уплътнителни пръстени за помпа, клапан и защитна броня и др.

Ние сме в състояние да проектираме и произвеждаме според вашите специфични размери с добро качество и разумно време за доставка.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

Описание

Нашата компания предоставя услуги за процес на нанасяне на SiC покритие чрез CVD метод върху повърхността на графит, керамика и други материали, така че специални газове, съдържащи въглерод и силиций, реагират при висока температура, за да се получат високочисти SiC молекули, молекули, отложени върху повърхността на покритите материали, образувайки SIC защитен слой.

Основни характеристики

1. Устойчивост на окисление при висока температура:
устойчивостта на окисление е все още много добра, когато температурата е по-висока от 1600 C.
2. Висока чистота: направено чрез химическо отлагане на пари при високотемпературно хлориране.
3. Устойчивост на ерозия: висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.
4. Устойчивост на корозия: киселина, основи, сол и органични реагенти.

Основни спецификации на CVD-SIC покритие

SiC-CVD свойства

Кристална структура FCC β фаза
Плътност g/cm³ 3.21
твърдост Твърдост по Викерс 2500
Размер на зърното μm 2~10
Химическа чистота % 99.99995
Топлинен капацитет J·kg-1 ·K-1 640
Температура на сублимация 2700
Felexural Сила MPa (RT 4 точки) 415
Модулът на Йънг Gpa (4pt завой, 1300 ℃) 430
Термично разширение (CTE) 10-6K-1 4.5
Топлопроводимост (W/mK) 300
Semicera Работно място
Работно място Semicera 2
Оборудване машина
CNN обработка, химическо почистване, CVD покритие
Нашата услуга

  • Предишен:
  • следващ: