TaC покритиедълбока ултравиолетова LED графитна основа се отнася до процеса на подобряване на производителността и стабилността на устройството чрез отлагане наTaC покритиевърху графитна основа по време на подготовката на дълбоко ултравиолетовото LED устройство. Това покритие може да подобри ефективността на разсейване на топлината, устойчивостта на висока температура и устойчивостта на окисляване на устройството, като по този начин подобрява ефективността и надеждността на LED устройството. Дълбоките ултравиолетови LED устройства обикновено се използват в някои специални области, като дезинфекция, светлинно втвърдяване и т.н., които имат високи изисквания за стабилност и производителност на устройството. Приложението наГрафит с TaC покритиеосновата може ефективно да подобри издръжливостта и производителността на устройството, осигурявайки важна подкрепа за развитието на дълбока ултравиолетова LED технология.
Semicera предоставя специализирани покрития от танталов карбид (TaC) за различни компоненти и носители.Водещият процес на нанасяне на покритие Semicera позволява покритията от танталов карбид (TaC) да постигнат висока чистота, висока температурна стабилност и висока химическа толерантност, подобрявайки качеството на продукта на SIC/GAN кристали и EPI слоеве (TaC ток с графитено покритие) и удължаване на живота на ключови компоненти на реактора. Използването на покритие от TaC от танталов карбид е за решаване на проблема с ръбовете и подобряване на качеството на растежа на кристалите, а Semicera има пробив в разрешаването на технологията за покритие от танталов карбид (CVD), достигайки международно напреднало ниво.
След години на развитие Semicera завладя технологията наCVD TaCсъс съвместните усилия на отдела за научноизследователска и развойна дейност. Лесно се появяват дефекти в процеса на растеж на SiC пластини, но след употребаTaC, разликата е съществена. По-долу е дадено сравнение на пластини със и без TaC, както и части от Simicera за монокристален растеж.
със и без TaC
След използване на TaC (вдясно)
Освен това на SemiceraПродукти с TaC покритиепоказват по-дълъг експлоатационен живот и по-голяма устойчивост на висока температура в сравнение сSiC покрития.Лабораторните измервания показват, че нашитеTaC покритияможе да работи постоянно при температури до 2300 градуса по Целзий за продължителни периоди. По-долу са някои примери за нашите проби:
