Епитаксиални пластинови носители с покритие от TaCобикновено се използват при подготовката на високопроизводителни оптоелектронни устройства, захранващи устройства, сензори и други области. товаепитаксиален носител на пластинасе отнася до отлагането наTaCтънък филм върху субстрата по време на процеса на растеж на кристала, за да се образува пластина със специфична структура и производителност за последваща подготовка на устройството.
Обикновено се използва технологията за химическо отлагане на пари (CVD).Епитаксиални пластинови носители с покритие от TaC. Чрез взаимодействие на метални органични прекурсори и въглеродни газове при висока температура, TaC филм може да бъде отложен върху повърхността на кристалния субстрат. Този филм може да има отлични електрически, оптични и механични свойства и е подходящ за подготовката на различни устройства с висока производителност.
Semicera предоставя специализирани покрития от танталов карбид (TaC) за различни компоненти и носители.Водещият процес на нанасяне на покритие Semicera позволява покритията от танталов карбид (TaC) да постигнат висока чистота, висока температурна стабилност и висока химическа толерантност, подобрявайки качеството на продукта на SIC/GAN кристали и EPI слоеве (TaC ток с графитено покритие) и удължаване на живота на ключови компоненти на реактора. Използването на покритие от TaC от танталов карбид е за решаване на проблема с ръбовете и подобряване на качеството на растежа на кристалите, а Semicera има пробив в разрешаването на технологията за покритие от танталов карбид (CVD), достигайки международно напреднало ниво.
След години на развитие Semicera завладя технологията наCVD TaCсъс съвместните усилия на отдела за научноизследователска и развойна дейност. Лесно се появяват дефекти в процеса на растеж на SiC пластини, но след употребаTaC, разликата е съществена. По-долу е дадено сравнение на пластини със и без TaC, както и части от Simicera за монокристален растеж.
със и без TaC
След използване на TaC (вдясно)
Освен това на SemiceraПродукти с TaC покритиепоказват по-дълъг експлоатационен живот и по-голяма устойчивост на висока температура в сравнение сSiC покрития.Лабораторните измервания показват, че нашитеTaC покритияможе да работи постоянно при температури до 2300 градуса по Целзий за продължителни периоди. По-долу са някои примери за нашите проби:
