TaC Coated Plate е специализиран диск, предназначен за използване в SiC епитаксиални процеси, изработен с прецизност от висококачествен графитен материал. Повърхността му е щателно покрита с танталов карбид (TaC), съединение, известно със своята изключителна чистота и здравина. Покритието TaC подобрява издръжливостта на плочата и устойчивостта на високи температури, което я прави идеална за взискателните условия на епитаксиалните процеси на SiC.
Тази иновативна пластина с покритие от TaC е специализиран диск, предназначен за използване в епитаксиални процеси на SiC, изработен с прецизност от висококачествен графитен материал. Повърхността на пластината с покритие от TaC е щателно покрита с танталов карбид (TaC), съединение, известно със своята изключителна чистота и здравина. служи като надеждна платформа за носене на пластини по време на различни етапи на епитаксиален растеж на SiC. Неговата графитна основа с висока чистота осигурява стабилна и инертна повърхност, докато TaC покритието добавя допълнителен слой защита срещу химически реакции и износване.
СемичераПластината с покритие от TaC е персонализирана според специфичните изисквания на клиентите, осигурявайки оптимална производителност и съвместимост с техните SiC епитаксиални системи. Независимо дали става въпрос за размер, форма или други спецификации, тези плочи са пригодени да отговорят на уникалните нужди на всяко приложение.
със и без TaC
След използване на TaC (вдясно)
Освен това на SemiceraПродукти с TaC покритиепоказват по-дълъг експлоатационен живот и по-голяма устойчивост на висока температура в сравнение сSiC покрития.Лабораторните измервания показват, че нашитеTaC покритияможе да работи постоянно при температури до 2300 градуса по Целзий за продължителни периоди. По-долу са някои примери за нашите проби:
