Semicera предоставя специализирани покрития от танталов карбид (TaC) за различни компоненти и носители.Водещият процес на нанасяне на покритие Semicera позволява покритията от танталов карбид (TaC) да постигнат висока чистота, висока температурна стабилност и висока химическа толерантност, подобрявайки качеството на продукта на SIC/GAN кристали и EPI слоеве (TaC ток с графитено покритие) и удължаване на живота на ключови компоненти на реактора. Използването на покритие от TaC от танталов карбид е за решаване на проблема с ръбовете и подобряване на качеството на растежа на кристалите, а Semicera има пробив в разрешаването на технологията за покритие от танталов карбид (CVD), достигайки международно напреднало ниво.
Покритите с танталов карбид носители за пластини се използват широко в процесите на обработка и обработка на пластини в процесите на производство на полупроводници. Те осигуряват стабилна опора и защита, за да гарантират безопасността, точността и консистенцията на вафлите по време на производствения процес. Покритията от танталов карбид могат да удължат експлоатационния живот на носителя, да намалят разходите и да подобрят качеството и надеждността на полупроводниковите продукти.
Описанието на носителя за пластини с покритие от танталов карбид е както следва:
1. Избор на материал: Танталовият карбид е материал с отлична производителност, висока твърдост, висока точка на топене, устойчивост на корозия и отлични механични свойства, така че се използва широко в процеса на производство на полупроводници.
2. Повърхностно покритие: Покритието от танталов карбид се нанася върху повърхността на носителя на пластини чрез специален процес на нанасяне на покритие, за да се образува равномерно и плътно покритие от танталов карбид. Това покритие може да осигури допълнителна защита и устойчивост на износване, като същевременно има добра топлопроводимост.
3. Плоскост и прецизност: Покритият с танталов карбид носач за пластини има висока степен на плоскост и прецизност, осигурявайки стабилността и точността на пластините по време на производствения процес. Плоскостта и покритието на носещата повърхност са от решаващо значение за осигуряване на качеството и производителността на пластината.
4. Температурна стабилност: Покритите с танталов карбид носители за вафли могат да поддържат стабилност при високотемпературни среди без деформация или разхлабване, гарантирайки стабилността и консистенцията на вафлите при високотемпературни процеси.
5. Устойчивост на корозия: Покритията от танталов карбид имат отлична устойчивост на корозия, могат да устоят на ерозията на химикали и разтворители и предпазват носителя от течна и газова корозия.
със и без TaC
След използване на TaC (вдясно)
Освен това на SemiceraПродукти с TaC покритиепоказват по-дълъг експлоатационен живот и по-голяма устойчивост на висока температура в сравнение сSiC покрития.Лабораторните измервания показват, че нашитеTaC покритияможе да работи постоянно при температури до 2300 градуса по Целзий за продължителни периоди. По-долу са някои примери за нашите проби:
