SemiceraTaC Coating Chuck, най-модерният вакуумен патронник, оборудван сTaC покрития, специално проектиран за полупроводникови пещи. Създадена да отговори на строгите изисквания на съвременните процеси за производство на полупроводници, тази иновативна технология поставя нов стандарт за прецизност, надеждност и дълготрайност.
В основата на производството на полупроводници лежи критичната необходимост от прецизен контрол и стабилност по време на обработка. Патронникът за покритие TaC отговаря на тази нужда чрез интегриране на напредналиTaC (танталов карбид) покритиявърху повърхността му, осигурявайки изключителна термична стабилност, издръжливост и устойчивост на химическа корозия. Тази уникална комбинация от материали не само подобрява производителността на патронника, но също така удължава експлоатационния му живот, осигурявайки постоянни резултати при безброй цикли.
Едно от ключовите предимства на патронника с покритие TaC е способността му да поддържа високо ниво на цялост на вакуума през целия цикъл на обработка. Чрез ефективно минимизиране на отделянето на газове и замърсяването, тази технология гарантира чистотата и качеството на полупроводниковите материали, което води до превъзходна производителност и надеждност на устройството.
Освен това, TaC Coating Chuck предлага несравнима гъвкавост, като побира широка гама от полупроводникови субстрати с различни размери и геометрия. Персонализиращият се дизайн на TaC Coating Chuck позволява безпроблемно интегриране в съществуващи системи за полупроводникови пещи, минимизиране на времето за престой и увеличаване на производителността.
С TaC Coating Chuck производителите на полупроводници могат да постигнат по-висока производителност, подобрен добив и намалени общи разходи. Независимо дали в изследователски лаборатории или производствени съоръжения с голям обем, тази модерна технология дава възможност на професионалистите в областта на полупроводниците да прокарат границите на иновациите, като същевременно поддържат строги стандарти за качество.
със и без TaC
След използване на TaC (вдясно)
Освен това на SemiceraПродукти с TaC покритиепоказват по-дълъг експлоатационен живот и по-голяма устойчивост на висока температура в сравнение сSiC покрития.Лабораторните измервания показват, че нашитеTaC покритияможе да работи постоянно при температури до 2300 градуса по Целзий за продължителни периоди. По-долу са някои примери за нашите проби:
