Графитен лист с покритие от танталов карбиде графитен материал с тънък слой оттанталов карбидвърху повърхността на субстрата. Тънкият слой танталов карбид обикновено се формира върху повърхността на графитния субстрат чрез техники като физическо отлагане на пари (PVD) или химическо отлагане на пари (CVD). Това покритие има отлични свойства като висока твърдост, отлична устойчивост на износване, устойчивост на корозия и висока температурна стабилност.
Semicera предоставя специализирани покрития от танталов карбид (TaC) за различни компоненти и носители.Водещият процес на нанасяне на покритие Semicera позволява покритията от танталов карбид (TaC) да постигнат висока чистота, висока температурна стабилност и висока химическа толерантност, подобрявайки качеството на продукта на SIC/GAN кристали и EPI слоеве (TaC ток с графитено покритие) и удължаване на живота на ключови компоненти на реактора. Използването на покритие от TaC от танталов карбид е за решаване на проблема с ръбовете и подобряване на качеството на растежа на кристалите, а Semicera има пробив в разрешаването на технологията за покритие от танталов карбид (CVD), достигайки международно напреднало ниво.
След години на развитие Semicera завладя технологията наCVD TaCсъс съвместните усилия на отдела за научноизследователска и развойна дейност. Лесно се появяват дефекти в процеса на растеж на SiC пластини, но след употребаTaC, разликата е съществена. По-долу е дадено сравнение на пластини със и без TaC, както и части на Simicera за монокристален растеж.
Основните предимства на графитния лист с покритие от танталов карбид включват:
1. Устойчивост на висока температура: Танталовият карбид има висока точка на топене и отлична стабилност при висока температура, което прави покрития графитен лист подходящ за използване в среда с висока температура.
2. Устойчивост на корозия: Покритието от танталов карбид може да устои на ерозията на много химически корозивни вещества и да удължи експлоатационния живот на материала.
3. Висока твърдост: Високата твърдост на тънкия слой от танталов карбид осигурява добра устойчивост на износване и е подходящ за приложения, изискващи висока устойчивост на износване.
4. Химическа стабилност: Покритието от танталов карбид има отлична устойчивост на химическа корозия и е подходящо за използване в някои корозивни среди.
със и без TaC
След използване на TaC (вдясно)
Освен това на SemiceraПродукти с TaC покритиепоказват по-дълъг експлоатационен живот и по-голяма устойчивост на висока температура в сравнение сSiC покрития.Лабораторните измервания показват, че нашитеTaC покритияможе да работи постоянно при температури до 2300 градуса по Целзий за продължителни периоди. По-долу са някои примери за нашите проби:
