Носеща опорна плоча с покритие от танталов карбиде възприемаща или опорна структура, която е покрита с тънък слой оттанталов карбид. Това покритие може да се формира върху повърхността на приемника чрез техники като физическо отлагане на пари (PVD) или химическо отлагане на пари (CVD), придавайки на приемника превъзходните свойства натанталов карбид.
Semicera предоставя специализирани покрития от танталов карбид (TaC) за различни компоненти и носители.Водещият процес на нанасяне на покритие Semicera позволява покритията от танталов карбид (TaC) да постигнат висока чистота, висока температурна стабилност и висока химическа толерантност, подобрявайки качеството на продукта на SIC/GAN кристали и EPI слоеве (TaC ток с графитено покритие) и удължаване на живота на ключови компоненти на реактора. Използването на покритие от TaC от танталов карбид е за решаване на проблема с ръбовете и подобряване на качеството на растежа на кристалите, а Semicera има пробив в разрешаването на технологията за покритие от танталов карбид (CVD), достигайки международно напреднало ниво.
След години на развитие Semicera завладя технологията наCVD TaCсъс съвместните усилия на отдела за научноизследователска и развойна дейност. Лесно се появяват дефекти в процеса на растеж на SiC пластини, но след употребаTaC, разликата е съществена. По-долу е дадено сравнение на пластини със и без TaC, както и части на Simicera за монокристален растеж.
Основните характеристики на опорните плочи с покритие от танталов карбид включват:
1. Стабилност при висока температура: Танталовият карбид има отлична стабилност при висока температура, което прави основната опорна плоча с покритие подходяща за нуждите от поддръжка при работни среди с висока температура.
2. Устойчивост на корозия: Покритието от танталов карбид има добра устойчивост на корозия, може да устои на химическа корозия и окисляване и да удължи експлоатационния живот на основата.
3. Висока твърдост и устойчивост на износване: Високата твърдост на покритието от танталов карбид дава на основната опорна плоча добра устойчивост на износване, което е подходящо за случаи, изискващи висока устойчивост на износване.
4. Химическа стабилност: Танталовият карбид има висока стабилност към различни химични вещества, което прави основната опорна плоча с покритие да работи добре в някои корозивни среди.
със и без TaC
След използване на TaC (вдясно)
Освен това на SemiceraПродукти с TaC покритиепоказват по-дълъг експлоатационен живот и по-голяма устойчивост на висока температура в сравнение сSiC покрития.Лабораторните измервания показват, че нашитеTaC покритияможе да работи постоянно при температури до 2300 градуса по Целзий за продължителни периоди. По-долу са някои примери за нашите проби:
