Въведение в покритието от силициев карбид
Нашето покритие от силициев карбид (SiC) за химическо отлагане на пари (CVD) е изключително издръжлив и устойчив на износване слой, идеален за среди, изискващи висока устойчивост на корозия и топлина.Покритие от силициев карбидсе нанася на тънки слоеве върху различни субстрати чрез CVD процес, предлагайки превъзходни характеристики.
Ключови характеристики
● -Изключителна чистота: С изключително чист състав на99,99995%, нашиятSiC покритиеминимизира рисковете от замърсяване при операции с чувствителни полупроводници.
● -Превъзходна устойчивост: Проявява отлична устойчивост както на износване, така и на корозия, което го прави идеален за предизвикателни химически и плазмени настройки.
● -Висока топлопроводимост: Осигурява надеждна работа при екстремни температури поради изключителните си топлинни свойства.
● -Стабилност на размерите: Поддържа структурната цялост в широк диапазон от температури, благодарение на ниския си коефициент на термично разширение.
● -Подобрена твърдост: С клас на твърдост от40 GPa, нашето SiC покритие издържа на значителни удари и абразия.
● -Гладка повърхност: Осигурява огледално покритие, намалява генерирането на частици и подобрява оперативната ефективност.
Приложения
Semicera SiC покритиясе използват в различни етапи от производството на полупроводници, включително:
● -Производство на LED чипове
● -Производство на полисилиций
● -Растеж на полупроводникови кристали
● -Силициева и SiC епитаксия
● -Термично окисление и дифузия (TO&D)
Ние доставяме компоненти с SiC покритие, изработени от изостатичен графит с висока якост, въглерод, подсилен с въглеродни влакна и 4N прекристализиран силициев карбид, пригодени за реактори с кипящ слой,STC-TCS преобразуватели, CZ рефлектори, лодка за пластини от SiC, гребло за пластини от SiC, тръба за пластини от SiC и носители за пластини, използвани в PECVD, силициева епитаксия, MOCVD процеси.
Ползи
● -Удължен живот: Значително намалява времето за престой на оборудването и разходите за поддръжка, повишавайки общата производствена ефективност.
● -Подобрено качество: Постига повърхности с висока чистота, необходими за обработка на полупроводници, като по този начин повишава качеството на продукта.
● -Повишена ефективност: Оптимизира термичните и CVD процесите, което води до по-кратки времена на цикъла и по-високи добиви.
Технически спецификации
● -Структура: FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана
● -Плътност: 3,21 g/cm³
● -Твърдост: 2500 твърдост по Викес (500g натоварване)
● -Издръжливост на счупване: 3,0 MPa·m1/2
● -Коефициент на топлинно разширение (100–600 °C): 4,3 х 10-6k-1
● -Еластичен модул (1300 ℃):435 GPa
● -Типична дебелина на филма:100 µm
● -Грапавост на повърхността:2-10 µm
Данни за чистота (измерени чрез масспектроскопия с тлеещ разряд)
| елемент | ppm | елемент | ppm |
| Li | < 0,001 | Cu | < 0,01 |
| Be | < 0,001 | Zn | < 0,05 |
| Ал | < 0,04 | Ga | < 0,01 |
| P | < 0,01 | Ge | < 0,05 |
| S | < 0,04 | As | < 0,005 |
| K | < 0,05 | In | < 0,01 |
| Ca | < 0,05 | Sn | < 0,01 |
| Ti | < 0,005 | Sb | < 0,01 |
| V | < 0,001 | W | < 0,05 |
| Cr | < 0,05 | Te | < 0,01 |
| Mn | < 0,005 | Pb | < 0,01 |
| Fe | < 0,05 | Bi | < 0,05 |
| Ni | < 0,01 |
|
