Semicera представя висококачествена поръчкаконзолни гребла от силициев карбидсъздадени за подобряване на процесите на производство на полупроводници. ИновативниятSiC греблоДизайнът осигурява изключителна издръжливост и висока термична устойчивост, което го прави основен компонент за работа с пластини в предизвикателни среди с висока температура.
TheГребло от силициев карбиде създаден да издържа на екстремни термични цикли, като същевременно поддържа структурна цялост, осигурявайки надеждно транспортиране на пластини по време на критичните фази на производството на полупроводници. С превъзходна механична якост, товавафлена лодкаминимизира риска от увреждане на пластините, което води до по-високи добиви и постоянно качество на продукцията.
Едно от ключовите нововъведения в греблото SiC на Semicera се крие в неговите опции за персонализиран дизайн. Създаден да отговаря на специфични производствени нужди, греблото предлага гъвкавост при интегриране с различни настройки на оборудването, което го прави идеално решение за модерни производствени процеси. Леката, но здрава конструкция позволява лесно боравене и намалява оперативния престой, като допринася за подобрена ефективност в производството на полупроводници.
В допълнение към своите термични и механични свойства,Гребло от силициев карбидпредлага отлична химическа устойчивост, което му позволява да работи надеждно дори в сурови химически среди. Това го прави особено подходящ за използване в процеси, включващи ецване, отлагане и обработка при висока температура, където поддържането на целостта на вафлената лодка е от решаващо значение за осигуряване на висококачествени резултати.
Физични свойства на рекристализирания силициев карбид | |
Собственост | Типична стойност |
Работна температура (°C) | 1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда) |
Съдържание на SiC | > 99,96% |
Безплатно Si съдържание | < 0,1% |
Обемна плътност | 2,60-2,70 g/cm3 |
Видима порьозност | < 16% |
Сила на натиск | > 600 MPa |
Якост на студено огъване | 80-90 MPa (20°C) |
Якост на горещо огъване | 90-100 MPa (1400°C) |
Термично разширение @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Топлопроводимост @1200°C | 23 W/m•K |
Модул на еластичност | 240 GPa |
Устойчивост на термичен удар | Изключително добре |