Какво е MOCVD Susceptor?

TheMOCVDМетодът е един от най-стабилните процеси, използвани в момента в индустрията за отглеждане на висококачествени единични кристални тънки филми, като еднофазови InGaN епислоеве, III-N материали и полупроводникови филми със структури с много квантови ямки, и е от голямо значение в производство на полупроводникови и оптоелектронни устройства.

TheSiC покритие MOCVD приемнике специализиран държач за пластини, покрит със силициев карбид (SiC) заепитаксиален растеж в процеса на металоорганично химично отлагане на пари (MOCVD).

SiC покритието има отлична химическа устойчивост и термична стабилност, което го прави идеален избор за MOCVD приемници, използвани при взискателни процеси на епитаксиален растеж.

Ключов компонент на процеса MOCVD е възприемникът, който е ключов елемент за осигуряване на еднаквост и качество на произведените тънки филми.

Какво е сенцептор? Сцепторът е специализиран компонент, използван в процеса MOCVD за поддържане и нагряване на субстрата, върху който е отложен тънкият филм. Той има множество функции, включително абсорбиране на електромагнитна енергия, преобразуването й в топлина и равномерно разпределяне на топлината върху субстрата. Това равномерно нагряване е от съществено значение за растежа на равномерни тънки филми с точна дебелина и състав.

Видове сенцептори:
1. Графитни приемници: Графитните приемници често са покрити със защитен слой като напр.силициев карбид (SiC), който е известен със своята висока топлопроводимост и стабилност. TheSiC покритиеосигурява твърда, защитна повърхност, която е устойчива на корозия и разграждане при високи температури.

2. Токоприемници от силициев карбид (SiC): Тези токоприемници са направени изцяло от SiC и имат отлична термична стабилност и устойчивост на износване. SiC токовете са особено подходящи за високотемпературни процеси и корозивни среди.

Как работят сенцепторите в MOCVD:

В процеса MOCVD прекурсорите се въвеждат в реакционната камера, където се разлагат и реагират, за да образуват тънък филм върху субстрата. Сцепторът играе жизненоважна роля, като гарантира, че субстратът се нагрява равномерно, което е от решаващо значение за постигане на постоянни свойства на филма по цялата повърхност на субстрата. Материалът и дизайнът на приемника са внимателно подбрани, за да отговарят на специфичните изисквания на процеса на отлагане, като температурен диапазон и химическа съвместимост.

Предимства от използването на висококачествени приемници:
• Подобрено качество на филма: Чрез осигуряване на равномерно разпределение на топлината, приемникът помага за постигане на филми с постоянна дебелина и състав, което е критично за работата на полупроводниковите устройства.
• Подобрена ефективност на процеса: Висококачествените сенцептори повишават общата ефективност на процеса MOCVD чрез намаляване на вероятността от дефекти и увеличаване на добива на използваеми филми.
• Продължителност на живота и надеждност: Токоприемниците, изработени от издръжливи материали като SiC, осигуряват дългосрочна надеждност и намаляват разходите за поддръжка.

Сцепторът е неразделна част от процеса MOCVD и пряко влияе върху качеството и ефективността на отлагането на тънък слой. За повече информация относно наличните размери, MOCVD приемници и цени, моля не се колебайте да се свържете с нас. Нашите инженери ще се радват да ви посъветват относно подходящите материали и да отговорят на всички ваши въпроси.

Телефон: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com