Хоризонтална плоча за лодка от силициев карбид

Кратко описание:

Semicera предоставя вафлени лодки, държачи персонализирани носители за пластини за вертикални/колони и хоризонтални конфигурации.Усъвършенстваната керамика осигурява отлична устойчивост на топлина и плазмена устойчивост, като същевременно намалява частиците и замърсителите.Силициевият карбид (SiC) от клас полупроводник също осигурява устойчивост при висока температура за носители на пластини с голям капацитет.

Изпратете имейл до нас

Подробности за продукта

Продуктови етикети

Представяме ви нашата най-съвременна хоризонтална плоча от силициев карбид, щателно проектирана за приложения за обработка на пластини в полупроводниковата индустрия.Изработена от най-фин силициев карбид, нашата хоризонтална плоча за лодка се откроява със своите превъзходни термични свойства, химическа устойчивост и механична якост.Идеална за високотемпературни процеси, тази плоча за лодка е проектирана да осигурява изключителна производителност, осигуряваща прецизност и ефективност при всяка употреба.

Основни функции

Изключителна издръжливост:Изработен от силициев карбид с висока чистота, наш плоча за лодкае проектиран да издържа на екстремни температури до1600°C, предлагайки несравнима издръжливост и продължителност на живот.

Равномерно разпределение на топлината:Топлинната проводимост на силициевия карбид осигурява равномерно разпределение на топлината в плочата, което е критично за поддържане на последователността на процеса и постигане на висококачествено производство на пластини.

Химическа устойчивост:Устойчива на корозивни химикали и сурови среди, нашата плоча за лодка поддържа целостта и производителността дори при най-взискателните приложения за обработка на полупроводници.

Висока механична якост:Здравата конструкция на нашияплоча за лодкагарантира отлична механична здравина и устойчивост на износване, намалявайки риска от повреда и необходимостта от честа смяна.

Приложения:

НашитеХоризонтална плоча за лодка от силициев карбиде перфектен за широк спектър от високотемпературни процеси в производството на полупроводници, включително, но не само, дифузия, окисление, йонна имплантация и CVD процеси.Неговият дизайн и материали гарантират, че може да поддържа точните изисквания за обработка на пластини, което го прави основен компонент за производствените линии за полупроводници.

За нас