SOI вафли

Кратко описание:

Вафлата SOI е подобна на сандвич структура с три слоя;Включително най-горния слой (устройствен слой), средния слой на заровения кислород (за изолационния слой SiO2) и долния субстрат (насипен силиций).SOI пластините се произвеждат по метода SIMOX и технологията за свързване на пластини, което позволява по-тънки и по-точни слоеве на устройството, еднаква дебелина и ниска плътност на дефектите.

Изпратете имейл до нас

Подробности за продукта

Продуктови етикети

SOI вафли (1)

Област на приложение

1. Високоскоростна интегрална схема

2. Микровълнови устройства

3. Високотемпературна интегрална схема

4. Силови устройства

5. Интегрална схема с ниска мощност

6. MEMS

7. Интегрална схема за ниско напрежение

Вещ		Аргумент
Като цяло	Диаметър на вафлата 晶圆尺寸 (mm)	50/75/100/125/150/200mm±25um
	Лък/Деформация 翘曲度(	<10um
	частици 颗粒度(	0.3um<30ea
	Плоски/прорез 定位边/定位槽	Плосък или прорез
	Изключване на ръба 边缘去除 (mm)	/
Слой на устройството 器件层	Тип на слоя на устройството/Добавка 器件层掺杂类型	N-тип/P-тип B/ P/ Sb / As
	Ориентация на слоя устройство 器件层晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Дебелина на слоя на устройството 器件层厚度(хм)	0,1~300um
	Съпротивление на слоя на устройството 器件层电阻率 (ом•см)	0,001~100 000 ома-см
	Частици на слоя устройство 器件层颗粒度(	<30ea@0.3
	Слой на устройството TTV 器件层TTV(	<10um
	Завършване на слоя на устройството 器件层表面处理	Полиран
КУТИЯ	Дебелина на заровения термичен оксид 埋氧层厚度(хм)	50nm(500Å)~15um
Слой с дръжка 衬底	Дръжка тип вафла/добавка 衬底层类型	N-тип/P-тип B/ P/ Sb / As
	Ориентация на вафлата на дръжката 衬底晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Съпротивление на дръжката на вафли 衬底电阻率 (ом•см)	0,001~100 000 ома-см
	Дебелина на вафлата на дръжката 衬底厚度(хм)	>100um
	Дръжка Wafer Finish 衬底表面处理	Полиран
SOI пластините с целеви спецификации могат да бъдат персонализирани според изискванията на клиента.