Носители на SiC покритие за ецване на полупроводници

Кратко описание:

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. е водещ доставчик на усъвършенствана полупроводникова керамика. Нашите основни продукти включват: гравирани дискове от силициев карбид, ремаркета за лодки от силициев карбид, кораби за пластини от силициев карбид (PV & Semiconductor), тръби от силициев карбид за пещи, конзолни лопатки от силициев карбид, патронник от силициев карбид, греди от силициев карбид, както и CVD SiC покрития и TaC покрития.

Продуктите се използват главно в полупроводниковата и фотоволтаичната промишленост, като например растеж на кристали, епитаксия, ецване, опаковане, покритие и оборудване за дифузионни пещи.

 

 


Подробности за продукта

Продуктови етикети

Описание

Нашата компания предоставя услуги за процес на нанасяне на SiC покритие чрез CVD метод върху повърхността на графит, керамика и други материали, така че специални газове, съдържащи въглерод и силиций, реагират при висока температура, за да се получат високочисти SiC молекули, молекули, отложени върху повърхността на покритите материали, образувайки SIC защитен слой.

Основни характеристики

1. Устойчивост на окисление при висока температура:
устойчивостта на окисление е все още много добра, когато температурата е по-висока от 1600 C.
2. Висока чистота: направено чрез химическо отлагане на пари при високотемпературно хлориране.
3. Устойчивост на ерозия: висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.
4. Устойчивост на корозия: киселина, основи, сол и органични реагенти.

Основни спецификации на CVD-SIC покритие

SiC-CVD свойства

Кристална структура FCC β фаза
Плътност g/cm³ 3.21
твърдост Твърдост по Викерс 2500
Размер на зърното μm 2~10
Химическа чистота % 99.99995
Топлинен капацитет J·kg-1 ·K-1 640
Температура на сублимация 2700
Felexural Сила MPa (RT 4 точки) 415
Модулът на Йънг Gpa (4pt завой, 1300 ℃) 430
Термично разширение (CTE) 10-6K-1 4.5
Топлопроводимост (W/mK) 300
Semicera Работно място
Работно място Semicera 2
Оборудване машина
CNN обработка, химическо почистване, CVD покритие
Нашата услуга

  • Предишен:
  • следващ: