на SemiceraSiC гребласа проектирани за минимално топлинно разширение, осигурявайки стабилност и прецизност в процеси, където точността на размерите е критична. Това ги прави идеални за приложения, къдетовафлиса подложени на повтарящи се цикли на нагряване и охлаждане, тъй като вафлената лодка запазва своята структурна цялост, осигурявайки постоянна работа.
Включвайки Semicera'sдифузионни лопатки от силициев карбидвъв вашата производствена линия ще повиши надеждността на вашия процес, благодарение на техните превъзходни термични и химични свойства. Тези лопатки са идеални за процеси на дифузия, окисляване и отгряване, като гарантират, че вафлите се обработват внимателно и прецизно през всяка стъпка.
Иновациите са в основата на SemiceraSiC греблодизайн. Тези лопатки са пригодени да се вписват безпроблемно в съществуващото полупроводниково оборудване, осигурявайки подобрена ефективност при работа. Леката структура и ергономичният дизайн не само подобряват транспортирането на пластини, но също така намаляват оперативния престой, което води до рационализирано производство.
| Физични свойства на рекристализирания силициев карбид | |
| Собственост | Типична стойност |
| Работна температура (°C) | 1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда) |
| Съдържание на SiC | > 99,96% |
| Безплатно Si съдържание | < 0,1% |
| Обемна плътност | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Видима порьозност | < 16% |
| Сила на натиск | > 600 MPa |
| Якост на студено огъване | 80-90 MPa (20°C) |
| Якост на горещо огъване | 90-100 MPa (1400°C) |
| Термично разширение @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Топлопроводимост @1200°C | 23 W/m•K |
| Модул на еластичност | 240 GPa |
| Устойчивост на термичен удар | Изключително добре |
